機械系統

  • 開展以機電一體化為核心的構件技術與應用該技術的精密系統設備的開發。開發成果為以節能為目的的混合動力工程機械,以實現高數字化社會為目的的液晶和半導體設備等的制造工藝提供了支持。

技術

  • 執行器技術
  • 機械設計技術
  • 高精度伺服控制技術
  • 電力電子技術

用途

  • 節能控制設備
  • 精密系統設備

混合動力電磁起重機

ZnO成膜設備

半導體激光退火設備