激光退火裝置

FPD、半導體用的激光退火裝置

FPD:本公司的雙激光&雙腔體系統等,所有組件均成功實現日本國產化,可提供適應各種玻璃尺寸的優秀系統。

半導體:是獨有的雙脈沖方式的高性能固體激光退火裝置。具有高重復性,高脈沖能量穩定性, 免維護,設計緊湊的特點,將會促進新一代工藝的開發。

特點

FPD用激光退火裝置

日本國產高功率的準分子激光振蕩器
搭載使用壽命長,脈沖能量穩定性高的本公司產激光振蕩器。配合獨有的光學系統,實現了穩定的加工表面光潔。

高運轉率
本公司采用獨有的TWIN方式解決了準分子激光維修頻率高,裝置停機時間長的問題。依靠雙激光&雙腔體系統,操作與維護可以同時進行,以減少停機時間。
支持體制
依靠激光振蕩器、包含光學系統的所有環節的日本國產化,可實現總系統的持續支持。另外,依靠采用拉桿維修結構,相比貝塞爾切換方式可大幅削減維護成本。

半導體用激光退火裝置

脈沖能量穩定性高
具備能量反饋功能。面內均一性達到σ≦1%。

雙脈沖控制
依靠獨有的雙脈沖過程,控制縱向溫度分布與時間。即使在溫度限制下也可以實現高溫退火過程。

液晶用準分子激光退火裝置 追求模塊化的ELA系列采用了本公司生產的激光與光學系統??砂凑湛蛻粜枨筇峁┳詈侠硐到y。
半導體用固體激光退火裝置 是對應雙脈沖工藝的高性能固體激光退火裝置。將促進下一代工藝開發。

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