低溫泵

節能 (多泵運轉)、穩定性能、停機時間段短(排氣性能等)

所謂低溫泵指的是在真空容器內設置極低溫面板,可凝聚或吸附后再排出容器內的氣體分子的高真空泵。采用需無塵的半導體制造裝置。使用了本公司最出名的GM低溫冷凍機,十分值得信賴。

特點

低溫泵是指

低溫泵屬于真空泵的一種。
真空泵分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種。按照作用壓力范圍分為粗真空泵和高真空泵。粗真空泵又分為油旋轉真空泵和干粗泵。高真空泵又分為渦輪分子泵,低溫泵,濺射離子泵,油擴散泵。

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低溫泵的特點如下:

  • 排氣速度(尤其對水蒸氣)快
  • 雖然是捕集式,但MAX排氣量大
  • 可獲得完全無油真空
  • 需要定期排出(再生操作)捕集的氣體
  • 不排出化學氣體

本公司銷售有SICERA®與Marathon®兩種類型的低溫泵。
SICERA®指的是S:Sumitomo I:Inverter integrated C:Cryopump with E:Energy R:Reduction A:Advantage的略稱首字母,有如下特點:

  • (可個別控制的多泵系統)
    可用一臺壓縮機運行最多7臺真空泵
  • (高可靠性)低
    溫泵用冷凍機的豐富實例
  • (高節能效果)
    以最優化運行可降至從前的1/2以內。
  • 多步驟再生循環與短再生時間
  • 完全自動再生

另一個低溫泵Marathon®由美國Sumitomo(SHI) Cryogenics of America, Inc.工廠生產,擁有以下特點:

  • 獨有的面板設計
  • 氫氣排氣容量大
  • 多步驟再生循環與短再生時間
  • 適應性強,可對應8-20英寸尺寸規格

與極低溫冷凍機相同,我公司全球生產、銷售網絡擁有美國(3處)、英國、德國、韓國、中國多處網點。在有待繼續發展的亞洲市場也擁有支援體系。

SICERA® 可進行多泵運轉,從而現實變頻器控制節能效果。
Marathon® 適用于多種尺寸。

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