TCE 系列

TCE 系列

風量：10CMM~20CMM
控制范圍：10㎡~20㎡/臺
溫度控制精度：±0.5℃~±0.02℃
濕度控制精度：±5％~±0.5%
適用范圍：
廣泛應用于金屬納米級模具加工；超精密測量；半導體曝光、涂布技術；電子束曝光技術；液晶等離子面板制造等各個領域。
特別適合對于小面積、超高精度恒溫恒濕等控制的客戶需求。