TCE 系列
風量:10CMM~20CMM 控制范圍:10㎡~20㎡/臺 溫度控制精度:±0.5℃~±0.02℃ 濕度控制精度:±5%~±0.5% 適用范圍: 廣泛應用于金屬納米級模具加工;超精密測量;半導體曝光、涂布技術;電子束曝光技術;液晶等離子面板制造等各個領域。 特別適合對于小面積、超高精度恒溫恒濕等控制的客戶需求。
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